SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会，诚邀行业伙伴(huǒbàn)莅临14号馆14G22展位，现场交流(jiāoliú)172nm准分子光科技(kējì)在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组 新品(xīnpǐn)首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验(shíyàn)模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证(yànzhèng)及小批量试产环节设计，具备结构精简、成本可控(kěkòng)、桌面即放即用、便携灵活等(děng)特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着(fùzhuó)性能，为封装、清洗等工艺(gōngyì)提供稳定前处理方案。 极简结构(jiégòu)，桌面级准分子实验新体验 由于传统(chuántǒng)准分子光(guāng)辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂(jiégòufùzá)，难以实现桌面级灵活实验(shíyàn)。广明源创新推出紧凑(jǐncòu)台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身(jīshēn)仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超净化超微细(wēixì)清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄(gòngxiāng)盛会 除新品发布外(wài)，广明源还将展出多款172nm准分子系列(xìliè)光源与(yǔ)模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列光源(guāngyuán) 172nm准分子系列模组及(jí)设备 SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造(zhìzào)企业、设备厂商、工艺研发工程师及(jí)行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域(lǐngyù)的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点：深圳国际会展中心(huìzhǎnzhōngxīn)14号馆 （本文(běnwén)来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者(dúzhě)提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问(yíwèn)，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）